高功率紫外激光器 313nm 窄线宽激光器

313nm 窄线宽激光器

基于单频种子激光器、光纤激光放大以及高效率的频率转换技术,频准激光可以提供窄线宽的313nm的窄线宽激光器,最大输出为2W,同时具有高频率稳定度,长寿命以及优异的光束质量。

313nm 窄线宽激光器

特点应用

特点
  • 窄线宽
  • 高功率
  • 优异的光束质量
  • 永不跳模
应用领域
  • 干涉曝光
  • 晶圆量测
  • 精密测量

性能指标

型号
FL-SF-313-xx⁽¹⁾-CW
中心波长
313.00nm
输出功率
0.3W
1W
1.5W
2W
线宽⁽²⁾(100us积分)
<40kHz
长期功率稳定性
<0.75% @3hrs, RMS
输出模式
空间准直输出,直径~0.8mm
光束质量
TEM00,M²<1.3
偏振消光比
>20dB, 线偏振
冷却方式⁽³⁾
风冷/水冷
 
(1) xx:激光功率,单位W,例如输出功率0.3W: FL-SF-313-0.3-CW, 输出功率1W: FL-SF-313-1-CW
(2)基于光纤延迟干涉仪测试
(3) 激光器默认选择风冷,如有要求,请和销售沟通。水冷版本不提供水冷机。
 

测试图

功率稳定性测试图

光斑测试图

尺寸图

水冷机箱尺寸图

风冷机箱尺寸图

激光头尺寸图

锁频模块尺寸图

气泵尺寸图