高功率紫外激光器 193nm 窄线宽激光器

193nm 窄线宽激光器

基于单频种子激光器、光纤激光放大以及高效率的频率转换技术,频准激光可以提供窄线宽的193nm的窄线宽连续激光器,同时具有高频率稳定度,长寿命以及优异的光束质量。

193nm 窄线宽激光器

特点应用

特点
  •  窄线宽
  • 优异的光束质量
  • 永不跳模
应用领域
  • 精密测量

性能指标

型号
FL-SF-193-xx⁽¹⁾-CW
中心波长
193. 368nm
波长调节范围(选配稳频时)
800MHz-40GHz
输出功率
3mW
10mW
线宽⁽²⁾(100us积分)
<100kHz
长期功率稳定性
<1% @2hrs, RMS
相干长度
>100m
输出模式
空间准直输出
光斑直径
0.8mm
1.1mm
发散角
全角,<0.15mrad
波长稳定性
<±10fm@24h(带稳频)
指向稳定性
<13.5urad,RMS
光束质量
TEM00,M²<1.5
偏振消光比
>20dB, 线偏振
冷却方式
水冷
 
(1) xx:激光功率,单位W,例如输出功率0.003W: FL-SF-193-0.003-CW, 输出功率0.01W: FL-SF-193-0.01-CW
(2)基于光纤延迟干涉仪测试

测试图

波长稳定性测试图

功率稳定性测试图

尺寸图

水冷机箱尺寸图(3mW功率)

激光头尺寸图(3mW功率)